渦旋，20世紀就已經(jīng)有了渦旋技術的專利。但當時技術水平的限制，渦旋制造不出來，渦旋也就被淡忘了。1973年渦旋機構被重新提起并制造出第一臺模型機構，使這項技術實際應用成為可能。渦旋機構的可*性高、運行平穩(wěn)、噪音極低、節(jié)省能源等潛力和巨大優(yōu)勢馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求，大受行業(yè)領先者青睞，迅速被投入工業(yè)化應用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的渦旋壓縮機技術與產(chǎn)品引領了世界渦旋技術實用化的浪潮，帶動了如冰箱、空調(diào)等諸多行業(yè)的技術進步和產(chǎn)品的更新?lián)Q代。
現(xiàn)在渦旋技術已經(jīng)由初期的應用在壓縮機行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè)，實現(xiàn)了全無油、運行更平穩(wěn)、噪音更低、更加節(jié)省能源的渦旋清潔真空獲得技術的實用化。人們應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環(huán)境沒有污染,并且抽速、壽命、能耗等指標均優(yōu)于普通油泵的單級、雙級無油渦旋真空泵系列產(chǎn)品。90年代初，世界上首臺渦旋真空泵推向市場，渦旋技術由此開始作為一種新型真空獲得技術在世界范圍內(nèi)被推廣應用。目前為止，世界上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠家集中在美國、日本和歐洲，以日本的Anestta、美國的Varian、德國的Busch等為代表。產(chǎn)品包括了自0.25L/S到10L/S系列產(chǎn)品，有些15L/S或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗階段。
清潔的真空環(huán)境一直是科學家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。
在現(xiàn)有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:
①.無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油，非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；
②.抽氣量大——雙渦旋盤，結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；
③.抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低；
④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動?。?br>⑤.結構簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn)；
⑥.體積小，維修方便，維護費用低；
⑦.采用空氣冷卻，無需水冷。
無油渦旋真空泵應用在
①.半導體行業(yè)——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備；
②.科學儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；
③.機械設備行業(yè)——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備；
④.化學工業(yè)；
⑤．醫(yī)療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；
⑥．包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設備。
無油渦旋真空泵主要由5個部件組成：
①．動靜渦旋盤付與基座；
②．曲軸；
③．密封墊；
④．防自轉機構；
⑤．電機。